对于真空镀膜这个词大家还是比较陌生的,尽管平时会接触到很多真空镀膜的东西,但是真空镀膜是怎么一回事呢? 真空镀膜在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空镀膜手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
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